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美國Aalborg氣體質量流量計

美國Aalborg Instruments Controls, Inc成立于1972年,是**上**的氣體質量流量計/控制器的生產廠家,其產品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學、石油化工、醫藥、環保等領域。
 
  產品特點:性價比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環路保護、備總量計數器
 
  典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
 
  設計特點:
 -剛性金屬結構
-流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
-*大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統標定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號輸出
-電路保護
-可用作便攜式的設備
-0到100比例顯示
-可配備流量計算機


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